III-V族窒化物系半導体の結晶成長過程に関する計算化学的検討 ○稲葉 祐策 いなば ゆうさく 東北大院工 小野津 崇之 おのづ たかゆき 東北大院工 高見 誠一 たかみ せいいち 東北大院工 久保 百司 くぼも もじ 東北大院工 宮本 明 みやもと あきら 東北大院工 窒化物系半導体による青色発光ダイオードやLEDでは、活性層としてInGaN が用いられ、可視光から紫外光までの波長をカバーする発光素子材料として注 目されている。しかし,サファイア基板上に成長したInGaN量子井戸構造では In組成の不均一化や結晶欠陥生成など、その成長過程に関して不明な点が多い。 そこで本研究ではIII-V族GaN系結晶の成長過程に関して計算化学的手法を用い て検討を行った。周期的DFT量子化学計算にはMSI社のCASTEPプログラムを用い た。擬ポテンシャルおよび平面波基底関数を用い、交換相関相互作用について はPerdewとWangが開発したものを用いた。InGaN混晶のモデルを作成し、その 最安定構造とトータルエネルギーを計算する事によってInGaNの結晶性につい て検討を行った。