二次元相関分光法による昇温脱離分析データの解析

○杉田 記男	すぎた のりお		豊橋技科大
  宮林 延良	みやばやし のぶよし	電子科学
  阿部 英次	あべ ひでつぐ		豊橋技科大

  昇温脱離分析法(Thermal Desorption Spectroscopy)は検体を昇温加熱し、
放出される脱離ガスを質量分析する分析法である。この手法は検体に含まれる
極微量の不純物の検出に威力を発揮する。しかし、複数の不純物が同じ温度
(あるいは近い温度)で脱離ピークを生ずる場合、これらを別々の物質として認
識することは困難である。
  本研究ではこの問題の解決に二次元相関分光法を用いることを試み、成果を
得たので報告する。